罗门哈斯UP6150是预再生均粒阴阳混合抛光树脂,主要用在EDI除盐系统之后,作为超纯水系统终端精处理抛光单元,是产出 18.25MΩ・cm电子级超纯水的核心耗材。
1. 深度脱除各类微量离子
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阳树脂去除:Na⁺、K⁺、Ca²⁺、Mg²⁺、Fe、Cu、Al 等金属阳离子;
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阴树脂去除:Cl⁻、SO₄²⁻、NO₃⁻、硅酸根 SiO₃²⁻、硼离子;
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对硅、硼选择性极强,出水二氧化硅≤2ppb,金属离子泄漏<0.1ppb,杜绝硅片、晶圆表面水印、漏电缺陷。
2. 超低TOC控制
特殊高交联骨架 + 专用吸附官能团,同步吸附水中微量溶解有机物,初次运行TOC稳定<5ppb,树脂自身几乎无有机溶出,不会污染精密元器件、光刻胶。
3. 稳定产出18兆欧超纯水
出厂已完全再生为 H⁺/OH⁻型,阴阳树脂化学当量配比,装填后短时间冲洗即可达到理论最高电阻率18.2MΩ・cm;均粒结构水流分布均匀、交换速度快、再生后可重复使用。
二、主要应用行业与场景
1. 半导体 / 微电子行业(最核心应用)
2. 光伏新能源行业(用量巨大)
单晶硅、多晶硅片制绒、酸洗、清洗、镀膜、电池片制备; 水中硅、硼杂质超标会导致电池转换效率降低、硅片色斑,UP6150 严控微量硅硼,提升光伏良品率,是光伏纯水站标配抛光树脂。
3. 生物医药、医疗器械
4. 高端实验室、检测机构
液相色谱 HPLC、质谱、原子吸收、痕量重金属检测、理化精密实验; 实验室超纯水机终端抛光柱专用树脂,保障检测数据无干扰。
5. 光学、精密制造
光学玻璃、镜头、光纤、镀膜行业清洗用水,避免表面瑕疵、雾点。
6. 其他高端工业纯水
锂电池电解液配制、精密电镀、电子冷却循环高纯水、化妆品高纯原料配制; 普通工业高纯混床终端精制,适合对水质要求极高的脱盐场景。